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1) 最小線(xiàn)間(jiān)距：50μm（在(zài)FR4 闆材18μm铜(tóng)箔上(shàng)）
2) 最小線(xiàn)宽(kuān)：50μm（在(zài)FR4 闆材18μm铜(tóng)箔上(shàng)）
3) 最大(dà)加工區(qū)域：320mm×320mm
4) 重(zhòng)複定(dìng)位(wèi)精度(dù)：≤±2μm
5) 系(xì)統定(dìng)位(wèi)精度(dù)：≤±5μm
6) 最高(gāo)加工速度(dù)：8.5 cm2/min（在(zài)FR4 闆材18μm铜(tóng)箔上(shàng)）
7) 激光(guāng)波(bō)长(cháng)：1064 nm
8) 激光(guāng)平均輸出功率：30W
9) 工作(zuò)頻率：20-80kHz
10) 激光(guāng)預热(rè)时(shí)間(jiān)：10s
11) 使用(yòng)高(gāo)端數字掃描振鏡(jìng)
12) 使用(yòng)高(gāo)端远心(xīn)透鏡(jìng)
13) 采用(yòng)全(quán)密封光(guāng)路
14) 運動(dòng)平台(tái)分(fēn)辨率：0.5µm
15) 振鏡(jìng)分(fēn)辨率：20μrad
16) 使用(yòng)大(dà)理(lǐ)石(dàn)基座
17) X、Y、Z轴使用(yòng)高(gāo)精度(dù)伺服(fú)電(diàn)機(jī)及(jí)驅動(dòng)器
18) X、Y、Z轴使用(yòng)C5級導軌
19) 配有立式機(jī)罩(zhào)
20) 配有鏡(jìng)头(tóu)保護風(fēng)幕
21) 配有工業吸塵(chén)系(xì)統
22) 配有高(gāo)分(fēn)辨率攝像头(tóu)及(jí)漫反(fǎn)射光(guāng)源
23) 有攝像头(tóu)靶标(biāo)定(dìng)位(wèi)功能(néng)
24) 加工头(tóu)吸附于(yú)工作(zuò)台(tái)吸附獨立切(qiè)换
25) 采用(yòng)前(qián)後(hòu)進(jìn)風(fēng)、双(shuāng)側排風(fēng)散(sàn)热(rè)方(fāng)式
26) 有開(kāi)盖自(zì)動(dòng)停止保護功能(néng)
27) 配有工業控制計(jì)算機(jī)及(jí)顯示器
28) 配有真(zhēn)空(kōng)吸附平台(tái)
29) 软(ruǎn)件(jiàn)：Circuit Workstation
30) 電(diàn)源：220VAC/50Hz
31) 功率：1.7kW（不包括吸塵(chén)系(xì)統）
32) 外(wài)形尺(chǐ)寸(cùn)：1450*1320*1500mm
33) 重(zhòng)量(liàng)：450kg
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